Semi - Nettoyer de tube de quartz conducteur

Semi - Nettoyer de tube de quartz conducteur

Le nettoyeur de tube à quartz semi-conducteur se compose d'un corps principal, d'un réservoir de nettoyage, d'un réservoir de stockage liquide, d'un système de pipeline, d'un système d'échappement, d'un système pneumatique et d'un système de contrôle électrique. Le processus de nettoyage comprend: PRE - Nettoyage, décapage bouillonnant (HF / HCl), nettoyage bouillonnant du débordement d'eau pure et décharge d'acide déchet / eaux usées. La solution acide est fournie par un système d'alimentation en acide central.
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Le nettoyeur de tube à quartz semi-conducteur se compose d'un corps principal, d'un réservoir de nettoyage, d'un réservoir de stockage liquide, d'un système de pipeline, d'un système d'échappement, d'un système pneumatique et d'un système de contrôle électrique. Le processus de nettoyage comprend: PRE - Nettoyage, décapage bouillonnant (HF / HCl), nettoyage bouillonnant du débordement d'eau pure et décharge d'acide déchet / eaux usées. La solution acide est fournie par un système d'alimentation en acide central.

 

Les caractéristiques clés incluent

 

Fonctions de distribution et de remplissage automatique

Circulation interchangeable entre le réservoir de lavage et le réservoir pour une réutilisation chimique efficace

Fonctions du réservoir: détection de niveau de liquide (avec alarmes pour les niveaux élevés / procédés / vides), fonction du tambour d'azote, fonction de pulvérisation, détection de bas niveau et détection de niveau d'eau pure

Fonction de rotation / roulement pour les tubes en quartz pendant le nettoyage (empêche le déplacement du tube et les dommages)

Pickling réglable et hauteur du niveau de lavage de l'eau

Tank à pression constante chimique avec 3+ Protections de niveau

 

Paramètres du produit

 

1. Flux de production:

Charge du chariot → Rotation du tube dans le panier → Lavage chimique → Pompe chimique à l'acide réservoir → Nettoyage DIW → Déchargement du chariot

2. Matériaux majoraires:

Cadre métallique avec coque PP

Matériau du réservoir: PPN ou PVDF

3. Transport:

Transport de bras robotique

 

Caractéristiques et applications du produit

 

Conçu pour les tubes de quartz φ540 × 4000 mm

Supprime efficacement les contaminants des surfaces du tube de quartz

 

Détails du produit

 

01/

1. CHIMES ADUSSIBLES POUR TOUS LES PROCESSUS DE COLTAGE (Pickling, trempage, nettoyage de débordement, rinçage par pulvérisation, bouillonnement et intervalles)

02/

2. Temps de nettoyage unique / cycle personnalisés via l'écran tactile (précision d'une seconde)

03/

3.Features:

Stockage et rappel de recettes de nettoyage multiples

Chargement / déchargement du tube de quartz automatique

Fonction de rotation

200 kg + capacité

Séparez l'alimentation acide dans le réservoir de nettoyage

Pulvérisation interchangeable entre les réservoirs de stockage de nettoyage / liquide

Fonction de drainage direct du réservoir

 

Scénarios d'application

 

 

◇ En juin 2024, le nettoyant de tube de quartz semi-conducteur a terminé l'assemblage et a commencé à tester la course.

 

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